為什么無(wú)塵車(chē)間／潔凈室一定要用除濕機加濕機

　　近年，在我們的各行業(yè)里都對空氣的相對濕度有嚴格的規定，使我們必需在無(wú)塵車(chē)間配置除濕機、加濕機。但是為什么值得花費這么多錢(qián)用在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中控制相對濕度呢？道理很簡(jiǎn)單！讓我們先來(lái)了解下什么叫無(wú)塵車(chē)間：

　　無(wú)塵車(chē)間指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　濕度控制是無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線(xiàn)處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。

　　因為相對濕度有一系列可能使潔凈室總體表現下降的因素，其中包括：

　　1、細菌生長(cháng)；

　　2、工作人員感到室溫舒適的范圍；

　　3、出現靜電荷；

　　4、金屬腐蝕；

　　5、水汽冷凝；

　　6、光刻的退化；

　　7、吸水性。

　　細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(cháng)。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì )使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì )讓人感覺(jué)干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

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